🧩 Pengenalan dan Aplikasi Komponen dan Bahan Utama untuk Peralatan Semikonduktor
Komponen dan bahan utama untuk peralatan semikonduktor termasuk bahan semikonduktor, komponen mewah dan bahan kimia serta bahan habis pakai yang digunakan dalam peralatan. Bahan semikonduktor seperti silikon, galium arsenida, dan silikon karbida adalah asas pembuatan wafer. Komponen utama termasuk bahagian kritikal dalam ruang vakum, seperti kepala pancuran mandian dan cincin penahan. Bahagian ini memerlukan pemesinan berketepatan tinggi dan selalunya diperbuat daripada bahan seperti aluminium, keluli tahan karat dan seramik. Selain itu, bahan habis pakai seperti bahan kimia, photoresist, dan wafer silikon digunakan dalam proses pembuatan.
- Bahan Semikonduktor
Semikonduktor generasi pertama: Terutamanya silikon, ia adalah bahan yang paling banyak digunakan dalam aplikasi komersial.
Semikonduktor generasi kedua: Gallium arsenide (GaAs) dan indium phosphide (InP) mewakili, terutamanya digunakan dalam produk komunikasi frekuensi tinggi.
Semikonduktor generasi ketiga: Terutamanya silikon karbida (SiC) dan galium nitrida (GaN), ia digunakan dalam aplikasi berkuasa tinggi seperti kenderaan elektrik dan stesen pangkalan. 2. Bahan Komponen Utama
Jenis Bahan: Termasuk aluminium, keluli tahan karat, loyang, aloi titanium, seramik (seperti alumina, zirkonia dan silikon nitrida), kuarza, plastik kejuruteraan dan bahan komposit.
Bahan seramik:
Alumina: Kos rendah, sesuai untuk komponen struktur dalam zon suhu sederhana.
Zirkonium Oksida: Keliatan dan kekuatan yang tinggi, sesuai untuk menggerakkan bahagian atau komponen yang berinteraksi secara dinamik dengan mekanisme.
Silicon Nitride: Rintangan kejutan haba yang tinggi, sesuai untuk proses penyejukan dan pemanasan suhu tinggi atau cepat.
Contoh Komponen: Komponen ruang vakum seperti kepala pancuran mandian, gelang pengapit dan penutup ruang. - Proses Bahan Kimia dan Bahan Habis
Bahan Kimia dan Photoresists: Digunakan dalam proses pembuatan semikonduktor. Sebagai contoh, photoresist digunakan dalam fotolitografi, manakala bahan kimia ketulenan tinggi digunakan secara meluas dalam etsa dan pembersihan.
Wafer Silikon: Berfungsi sebagai bahan substrat untuk produk semikonduktor.
Lain-lain: Seperti bahan pengedap dan pelincir yang digunakan dalam peralatan. 4. Teknologi Proses
Pemesinan Ketepatan dan Rawatan Permukaan: Memastikan bahagian memenuhi keperluan dimensi dan toleransi yang ketat.
Pemprosesan Vakum: Teknik seperti etsa, pemendapan wap kimia (CVD) dan pemendapan wap fizikal (PVD) memerlukan peralatan dan komponen yang sangat tepat dan bersih.
Implantasi Ion: Digunakan untuk mengubah suai sifat bahan, terutamanya dalam aplikasi seramik untuk meningkatkan ketahanan.
Pembuatan semikonduktor adalah proses yang sangat tepat dan bersih. Daripada bahan wafer silikon dan bahan kimia proses kepada komponen utama, ketulenan, kestabilan dan kebolehpercayaan mesti dikawal dengan ketat. Bagi pembekal peralatan, bahan dan komponen ini bukan sahaja teras kestabilan proses tetapi juga penting untuk meningkatkan kapasiti pengeluaran dan hasil.
Untuk bahan pengedap logam, seramik, lutsinar dan elastik yang disenaraikan dalam “Pengenalan kepada Bahan untuk Komponen Peralatan Semikonduktor Utama,” bahagian ini menerangkan kegunaan utama, ciri dan kawasan aplikasinya.
Bahan Utama Komponen Peralatan Semikonduktor
🔹 1. Bahan Logam
| Bahan | Ciri-ciri | Aplikasi |
|---|---|---|
| Aloi Aluminium | Ringan, konduktor haba tinggi, tahan karat | Bilik vakum, rangka, bahagian CVD/PVD. |
| Titanium (Ti) | Kekuatan tinggi, tahan kimia | Struktur vakum, sambungan gas, skru. |
| Tungsten (W) | Takat lebur tinggi, konduktor baik | Elektrod, pemanas, bahan sasaran PVD. |
| Tembaga (Cu) | Konduktor terbaik haba & elektrik | Elektrod, plat penyejuk, modul haba. |
| Tantalum (Ta) | Tahan kakisan, konduktor baik | Elektrod, lapisan penghalang. |
| Molibdenum (Mo) | Kuat, stabil pada suhu tinggi | Elektrod, sasaran PVD, penyokong. |
🔹 2. Bahan Seramik
| Bahan | Ciri-ciri | Aplikasi |
|---|---|---|
| Alumina (Al₂O₃) | Keras, penebat elektrik | Cincin penebat, penyokong elektrod. |
| Nitrat Aluminium (AlN) | Konduktor haba tinggi | Plat pemanas, modul kawalan haba. |
| Karbida Silikon (SiC) | Tahan haba & kakisan | Lapisan ruang etsa, pelapik pelindung. |
| Nitrat Silikon (Si₃N₄) | Kuat, tahan kejutan haba | Cincin penyokong, galas, penebat vakum. |
🔹 3. Bahan Lutsinar
| Bahan | Ciri-ciri | Aplikasi |
|---|---|---|
| Kuarza (Quartz) | Ketulenan tinggi, tahan haba | Tingkap litografi, tiub CVD. |
| Kaca (Glass) | Kos rendah, penebat | Tingkap pemerhatian, panel kawalan. |
| Sapphire | Keras, lutsinar, tahan suhu |
#Bahan Semikonduktor #Komponen Utama #Wafer Silikon #SiC #GaN #Kebuk Vakum #Fotoresist #Gas Proses #Slurry CMP #Pembekal Peralatan Semikonduktor #Pemesinan CNC Ketepatan #Bahan Ketulenan Tinggi #Proses Bersih
#Peralatan Semikonduktor #Komponen Utama #Bahan Semikonduktor #Pemesinan CNC #Kebuk Vakum #Bahagian Kuarza #Bahagian Seramik #SiC #Rantai Bekalan Semikonduktor #Pengilangan Pintar #Pemprosesan Wafer #Pembungkusan dan Pengujian #Pengilangan ESG #Pengintegrasian Automasi #PVD #CvD
Yong Yi Technology Co., Ltd.
Logo Yong Yi Technology Co., Ltd
lokasi_di No. 188-9, Seksyen 1, Jalan Dafeng, Daerah Tanzi, Bandar Taichung, Taiwan 42756
hubungi +886-4-25341382
ring_volume
+886-4-25341847
e-mel yongyi-sales@umail.hinet.net
e-mel justinwu6767@gmail.com