CNC im Herstellungsprozess von Halbleiteranlagen
1️⃣ Rolle von CNC
CNC-Bearbeitung ist entscheidend für die Herstellung hochpräziser Komponenten von Halbleiteranlagen wie Ätzsystemen, PVD/CVD-Kammern, Vakuumkammern und Wafer-Handlern.
2️⃣ Herstellungsphasen
- Strukturteile: Rahmen, Kammern, Flansche
- Vakuumkammern & Präzisionsteile: Spiegeloberflächen, enge Toleranzen
- Vorrichtungen: Montage- und Prüfvorrichtungen
- Kühlmodule: Mikrokanalplatten, Wärmetauscher
- Bewegungskomponenten: Roboterarme, Linearmodule, Drehachsen
3️⃣ Integration mit anderen Verfahren
| Verfahren | Integration | Beschreibung |
|---|---|---|
| CNC + EDM | Mikrobohrung | Komplexe Formen |
| CNC + Schleifen | Oberflächenfinish | Keramik, SiC |
| CNC + 3D-Druck | Hybride Fertigung | Prototypenbau |
| CNC + Automatisierung | Intelligente Fertigung | Unbemannter Betrieb |
4️⃣ Anwendungen
| Gerät | CNC-Teil | Fokus |
|---|---|---|
| PVD/CVD | Kammer, Gasverteiler | Dichtigkeit, Politur |
| Ätzsystem | Kammer, Elektrode | Isolierung |
| CMP | Sockel, Lagergehäuse | Stabilität |
| Wafer-Handler | Arm, Basis | Präzision |
| Messsystem | Halterung | Strukturstabilität |
5️⃣ Zukunftstrends
- Mikrobearbeitung
- Digitaler Zwilling
- Saubere Bearbeitung
- KI-Optimierung
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