Il ruolo del CNC nella produzione di apparecchiature per semiconduttori
1️⃣ Posizione del CNC
Il CNC è fondamentale per la fabbricazione di componenti ad alta precisione in apparecchiature come camere a vuoto, sistemi PVD/CVD, incisori e manipolatori di wafer.
2️⃣ Fasi di produzione
- Componenti strutturali: telai, camere, flange
- Camere a vuoto e parti di precisione: superfici a specchio
- Attrezzaggi e fissaggi: assemblaggio e test
- Moduli termici: piastre di raffreddamento a microcanali
- Componenti di movimento: bracci, moduli lineari, assi rotanti
3️⃣ Integrazione
| Processo | Integrazione | Descrizione |
|---|---|---|
| CNC + EDM | Microforatura | Forme complesse |
| CNC + Rettifica | Finitura a specchio | Ceramiche e SiC |
| CNC + Stampa 3D | Produzione ibrida | Prototipazione |
| CNC + Automazione | Manifattura intelligente | Produzione autonoma |
4️⃣ Applicazioni
| Apparecchiatura | Parti CNC | Punto chiave |
|---|---|---|
| PVD / CVD | Camera, distributore di gas | Sigillatura, finitura |
| Incisore | Camera, base elettrodo | Isolamento |
| CMP | Base, supporto | Rigidità |
| Manipolatore | Braccio, base | Allineamento preciso |
| Metrologia | Staffe, supporti | Stabilità |
5️⃣ Tendenze future
- Micro-lavorazione
- Gemello digitale
- Lavorazione pulita
- Ottimizzazione tramite IA
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