Satu, Peranan Aloi Aluminium dalam Peralatan Semikonduktor
Aluminium digunakan secara meluas dalam peralatan semikonduktor kerana beberapa sebab utama:
- Ringan (mengurangkan inersia mesin)
- Kebolehan pemesinan yang baik (sesuai untuk CNC ketepatan tinggi)
- Kestabilan terma yang baik (boleh dikawal)
- Kebolehan permukaan untuk rawatan tinggi (Anodizing / Plasma)
👉 Banyak digunakan untuk bahagian struktur dan komponen rongga yang tidak secara langsung terlibat dalam proses utama, tetapi sangat dekat dengan kawasan proses.
Dua, Aloi Aluminium yang Biasa Digunakan dalam Peralatan Semikonduktor
| Aloi Aluminium | Ciri-ciri | Penggunaan dalam Peralatan Semikonduktor |
|---|---|---|
| 6061-T6 | Kestabilan dimensi, mudah diproses | Komponen mekanikal, penyokong, asas |
| 7075-T651 | Kekuatan tinggi, kekakuan baik | Rangka ketepatan, modul pergerakan |
| 5083-H112 | Kelebihan pengelasan | Rongga vakum, penutup |
| Aluminium tulen tinggi 4N / 5N | Pencemaran sangat rendah | Komponen dalam Chamber |
Tiga, Kaedah Pemesinan Aloi Aluminium dalam Peralatan Semikonduktor
1️⃣ Teknologi Pemesinan CNC
Mesin Pemesinan:
- CNC 3 paksi / 4 paksi (permukaan, rangka)
- CNC 5 paksi (rongga, lubang condong, saluran kompleks)
- Pusat pemesinan kelajuan tinggi (HSM)
Strategi Pemesinan:
- High Speed Milling (kelajuan tinggi, kedalaman potong rendah)
- Pemesinan simetri, elakkan tumpuan tegangan dalaman
- Rough → Stress Relief → Finish
Pemilihan Alat:
- Alat PCD (untuk aluminium tulen tinggi)
- End mill bersalut DLC / ZrN
- Alat reka bentuk pembuangan serbuk tinggi
2️⃣ Kaedah Pemesinan Khusus (Biasa untuk Semikonduktor)
- Pemesinan rongga dalam (Vacuum chamber)
- Saluran kompleks (Gas / Cooling channels)
- Struktur dinding nipis (kurangkan berat tetapi tinggi kekakuan)
- Pemesinan permukaan rata tinggi (≤ 10 μm / 500 mm)
Empat, Proses Standard Komponen Semikonduktor Aloi Aluminium
- Pemeriksaan bahan (sijil bahan, nombor batch)
- Pemesinan kasar (Rough Machining)
- Rawatan pelepasan tegangan (pematangan buatan / semula jadi)
- Pemesinan separa halus (Semi-Finish)
- Pemesinan akhir (Finish / 5-Axis)
- Rawatan permukaan (Anodizing / Plasma)
- Pemeriksaan ketepatan semula (CMM / Flatness)
- Pencucian ultrasonik (DI Water)
- Pembungkusan bilik bersih (Class 100 / 1000)
Lima, Kawalan Kritikal Pemesinan Aloi Aluminium (Gred Semikonduktor)
1️⃣ Kawalan Dimensi & Deformasi Terma (Paling Penting)
- Sediakan lebihan material untuk deformasi sebelum pemesinan
- Komponen besar perlu rawatan pelepasan tegangan berulang
- Kawalan suhu persekitaran pemesinan (20 ±1°C)
2️⃣ Kualiti Permukaan & Kawalan Pencemaran
Kekasaran permukaan:
- Permukaan struktur biasa: Ra ≤ 1.6 μm
- Permukaan bersentuhan dengan vakum / gas: Ra ≤ 0.8 μm
Risiko pencemaran:
- Minyak pemotongan mengandungi sulfur dilarang
- Kawasan pemesinan dan pencucian dipisahkan
- Lajur pemesinan aloi aluminium khas (elak pencemaran Fe)
3️⃣ Rawatan Permukaan (Teknologi Teras Semikonduktor)
| Rawatan Permukaan | Fungsi | Penggunaan Peralatan Semikonduktor |
|---|---|---|
| Hard anodizing (Type III) | Tahan haus, tahan kakisan | Komponen struktur |
| Plasma anodizing | Partikel rendah | Dalam Chamber |
| Chemical nickel (EN) | Kedap / Seal | Permukaan bersentuhan vakum |
⚠️ Ketebalan lapisan anod perlu dimasukkan dalam pengiraan toleransi (biasanya 20–50 μm)
4️⃣ Pencucian & Standard Bersih
- Pencucian ultrasonik (DI Water)
- Pembungkusan bilik bersih Class 100 / 1000
- Bahan pembungkusan rendah outgassing
Enam, Aplikasi Lazim Aloi Aluminium dalam Peralatan Semikonduktor
🔧 Struktur Peralatan:
- Equipment Frame
- Base Plate
- Motion Module Housing
🧪 Rongga & Komponen Dalaman:
- Vacuum Chamber
- Liner / Shield
- Gas Distribution Plate (bukan kawasan suhu tinggi)
⚙️ Sokongan & Jig:
- Wafer Carrier
- Alignment Jig
- Handling Arm Parts
Tujuh, Aloi Aluminium vs Bahan Lain (Dari Sudut Semikonduktor)
| Item | Aloi Aluminium | Keluli Tahan Karat | Seramik |
|---|---|---|---|
| Kecekapan Pemesinan | ⭐⭐⭐⭐⭐ | ⭐⭐ | ⭐ |
| Kos | Rendah–Sederhana | Tinggi | Sangat Tinggi |
| Berat | Ringan | Berat | Sederhana |
| Ketahanan Plasma | Sederhana | Tinggi | Sangat Tinggi |
| Kawasan Penggunaan | Struktur / Rongga | Gas / Suhu Tinggi | Proses Teras |
Lapan, Cadangan Praktikal untuk Pengilang CNC
✅ Fokus Pasaran Jerman / Antarabangsa:
- Kestabilan dimensi (Repeatability)
- Konsistensi rawatan permukaan
- Keupayaan pengurusan proses bersih
✅ Gabungan Kemahiran Disyorkan:
- Pemesinan 5-paksi + integrasi rawatan permukaan
- Pengalaman kawalan deformasi aloi aluminium besar
- Proses pencucian khas untuk semikonduktor
📌 Kesimpulan Satu Ayat:
Aluminium adalah “bahan rangka” untuk peralatan semikonduktor. Nilai sebenar pemesinan CNC terletak pada “kestabilan × kebersihan × integrasi proses.”
I. Aloi Aluminium × Semikonduktor [Kata Kunci Teras] Aloi aluminium, peralatan semikonduktor, komponen aluminium peralatan semikonduktor
Komponen aluminium semikonduktor, Bahagian aluminium untuk peralatan semikonduktor
Pemesinan ketepatan semikonduktor
Komponen struktur peralatan semikonduktor
II. Kata Kunci Berkaitan Bahan (Aloi Aluminium) Semikonduktor aluminium 6061-T6, aluminium ketepatan 7075-T651, ruang vakum aluminium 5083, Aluminium ketulenan tinggi, 4N, 5N Aluminium gred semikonduktor
Aluminium ketulenan tinggi, semikonduktor, aloi aluminium, pensijilan bahan, Sijil Kilang
III. Kata Kunci Teknologi Pemesinan CNC Pemesinan aluminium CNC, pemesinan aluminium 5 paksi, Pengilangan berkelajuan tinggi, ketepatan aluminium, semikonduktor pemesinan CNC, Pemesinan rongga dalam aluminium, Pemesinan dinding nipis aluminium, Pengilangan CNC untuk peralatan semikonduktor
IV. Kata Kunci Proses dan Kawalan Kualiti Kawalan proses pembuatan semikonduktor, Aluminium kestabilan dimensi, Pemesinan aluminium pelepasan tekanan, Pemesinan aluminium toleransi ketat, Pemesinan jitu ±5 mikron, Kawalan ubah bentuk terma, Proses pemesinan bersih
V. Kata Kunci Rawatan dan Pembersihan Permukaan (Kunci) Semikonduktor anodisasi keras Aluminium anodisasi Plasma; Anodisasi aluminium untuk vakum; Penyaduran nikel kimia; EN; Rawatan permukaan zarah rendah; Aluminium keluar gas rendah; Kemasan permukaan semikonduktor
VI. Kata Kunci Pembersihan dan Bilik Bersih: Pembersihan ultrasonik; Semikonduktor DI; Pembersihan air; Pembungkusan bilik bersih; Proses pembersihan Semikonduktor Kelas 100; Pemesinan kawalan zarah
VII. Kata Kunci Aplikasi Peralatan Semikonduktor: Ruang vakum; Aluminium; Kerangka peralatan semikonduktor; Plat pengedaran gas; Aluminium; Pembawa wafer; Aluminium; Lekapan jig semikonduktor; Perumah aluminium jitu
VIII. Pasaran Jerman / Kata Kunci SEO Jerman (Sangat Penting): 🇩🇪 Kata Kunci Teknikal Jerman: Aluminiumkomponenten für Halbleiteranlagen CNC-Präzisionsbearbeitung; Aluminium; Aluminiumteile für Halbleiterindustrie 5-Achs-CNC-Aluminiumbearbeitung Hochreines; Aluminium Halbleiter Plasma-Anodisation; Aluminium Vakuumkammer; aluminium
IX. Kata Kunci Panduan Perniagaan dan Kerjasama Pembekal peralatan semikonduktor Rakan kongsi pemesinan ketepatan Pembekal OEM semikonduktor Bahagian mekanikal untuk alat semikonduktor Rantaian bekalan semikonduktor global Semikonduktor CNC Taiwan
Yongyi Technology Co., Ltd. de
location_on 42756 Nr. 188-9, Abschnitt 1, Dafeng Road, Bezirk Tanzi, Stadt Taichung, Taiwan
email yongyi-sales@umail.hinet.net
email justinwu6767@gmail.com