I. Rolle von Aluminiumlegierungen in der Halbleiterausrüstung
I. Rolle von Aluminiumlegierungen in der Halbleiterausrüstung In Halbleiterfertigungsanlagen werden Aluminiumlegierungen in großem Umfang eingesetzt. Die Hauptgründe dafür sind: 👉 Aluminiumlegierungen werden überwiegend für Struktur- und Kammerbauteile eingesetzt, die zwar nicht zum direkten Prozessreaktionskern gehören, sich jedoch in unmittelbarer Nähe des Prozessbereichs befinden. II. In der Halbleiterausrüstung häufig verwendete Aluminiumlegierungen Aluminiumlegierung Eigenschaften Anwendungen in der …
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