半導體設備的關鍵零組件與材料包含 半導體材料、高階零組件,以及用於設備的 化學品與耗材。 半導體材料如矽、砷化鎵和碳化矽是晶片製造的基礎。 關鍵零組件則包括真空腔體內的關鍵零件,如噴頭(Shower Head)、夾持環(Retainer Ring)等,這些零件需要高精度加工,且常用鋁、不鏽鋼、陶瓷等材料製造。 此外,製程中還有化學品、光阻劑以及矽晶圓等耗材。 

🧩 半導体装置の主要部品・材料の紹介と応用

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