Le rôle et l’application du CNC dans la fabrication d’équipements semi-conducteurs
1️⃣ Position du CNC
Le CNC (Commande Numérique par Calculateur) joue un rôle clé dans la fabrication de pièces de haute précision pour les équipements semi-conducteurs tels que les chambres à vide, les systèmes CVD/PVD, les graveurs et les manipulateurs de tranches.
2️⃣ Étapes concernées
- Composants structurels : châssis, chambres, brides, supports
- Chambres à vide et pièces de précision : traitement miroir, tolérances serrées
- Gabarits et fixations : assemblage et inspection
- Modules thermiques : plaques de refroidissement à microcanaux
- Composants de mouvement : bras, axes linéaires et rotatifs
3️⃣ Intégration
| Processus | Intégration | Description |
|---|---|---|
| CNC + EDM/ECM | Microperçage | Formes complexes |
| CNC + Rectification | Finition miroir | Céramiques, SiC |
| CNC + Impression 3D | Fabrication hybride | Prototypage rapide |
| CNC + Automatisation | Fabrication intelligente | Contrôle sans opérateur |
4️⃣ Applications
| Équipement | Pièces CNC | Points clés |
|---|---|---|
| PVD / CVD | Chambre, distributeur de gaz | Étanchéité, finition miroir |
| Graveur | Chambre, électrode | Isolement, tolérance |
| CMP | Base, support | Rigidité, planéité |
| Manipulateur | Bras, base | Alignement précis |
| Métrologie | Support, fixation | Stabilité structurelle |
5️⃣ Tendances futures
- Micro-usinage
- Jumeau numérique
- Usinage propre
- Optimisation IA
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